W型サイレントチェッキ(急閉リフト式, FC/CAC406.NBR)
Fig.40ウエハー(10Kフランジ適用)
本体材質 | FC200 |
要部材質 | CAC406 ゴム(NBR) |
使用圧 | 1.37MPa(-10〜80℃) |
寸法(インチ) | 寸法(ミリ) | L | 備考 |
1 1/2インチ | 40mm | 90 | |
2インチ | 50mm | 90 | |
2 1/2インチ | 65mm | 100 | |
3インチ | 80mm | 115 | |
4インチ | 100mm | 135 | |
5インチ | 125mm | 150 | |
6インチ | 150mm | 175 | |
8インチ | 200mm | 220 | |
10インチ | 250mm | 280 |