WL型10Kデュアル(ダクタイル)
Fig.114ウエハー(10Kフランジ適用)
材質および使用圧力 | 5.材質および使用圧力をご覧ください |
使用温度 | 6.使用温度をご覧ください |
寸法(インチ) | 寸法(ミリ) | L | 備考 |
2インチ | 50mm | 54 | バイパス弁付きも製作可 |
2 1/2インチ | 65mm | 54 | |
3インチ | 80mm | 57 | |
4インチ | 100mm | 64 | |
5インチ | 125mm | 70 | |
6インチ | 150mm | 76 | |
8インチ | 200mm | 95 | |
10インチ | 250mm | 108 | |
12インチ | 300mm | 143 | |
14インチ | 350mm | 184 | |
16インチ | 400mm | 191 | |
18インチ | 450mm | 203 | |
20インチ | 500mm | 219 | |
22インチ | 550mm | 219 | |
24インチ | 600mm | 222 | |
26インチ | 650mm | 279 | |
28インチ | 700mm | 321 | |
30インチ | 750mm | 330 | |
32インチ | 800mm | 356 | |
36インチ | 900mm | 368 | |
40インチ | 1000mm | 419 | |
42インチ | 1050mm | 432 | |
48インチ | 1200mm | 524 |