20Kデュアル(SCS14A)
Fig.235(WH-5)
ウエハー
| 本体材質 | SCS14A |
| 要部材質 | NBR |
| 使用圧 | 3.33MPa(-10〜80℃) |
| 寸法(インチ) | 寸法(ミリ) | L | 備考 |
| 2インチ | 50mm | 60 | 急閉式による静かな閉止 ソフトシールによるリークゼロ コンパクトな配管寸法 デュアルチェッキバルブの項をご参照ください |
| 2 1/2インチ | 65mm | 67 | |
| 3インチ | 80mm | 73 | |
| 4インチ | 100mm | 73 | |
| 5インチ | 125mm | 86 | |
| 6インチ | 150mm | 98 | |
| 8インチ | 200mm | 127 | |
| 10インチ | 250mm | 146 | |
| 12インチ | 300mm | 181 |
